讯(王珞)必联网发布的中标结果公告显示,2月28日,万业企业(600641)旗下嘉芯迦能的掺杂硼磷二氧化硅薄膜化学沉积设备以及钛/氮化钛沉积设备成功中标某公司特色工艺生产线建设招标项目。嘉芯迦能为嘉芯半导体子公司。
自2022年下半年开始,嘉芯半导体研发生产的设备多次中标,包含快速热处理(RTP)、氮化硅等离子刻蚀机、金属等离子刻蚀机、侧墙等离子刻蚀机、高密度等离子薄膜沉积设备、二氧化硅等离子薄膜沉积设备以及铝铜金属溅射设备(PVD)等。
讯(王珞)必联网发布的中标结果公告显示,2月28日,万业企业(600641)旗下嘉芯迦能的掺杂硼磷二氧化硅薄膜化学沉积设备以及钛/氮化钛沉积设备成功中标某公司特色工艺生产线建设招标项目。嘉芯迦能为嘉芯半导体子公司。自2022年下半年开始,嘉
讯(王珞)必联网发布的中标结果公告显示,2月28日,万业企业(600641)旗下嘉芯迦能的掺杂硼磷二氧化硅薄膜化学沉积设备以及钛/氮化钛沉积设备成功中标某公司特色工艺生产线建设招标项目。嘉芯迦能为嘉芯半导体子公司。
自2022年下半年开始,嘉芯半导体研发生产的设备多次中标,包含快速热处理(RTP)、氮化硅等离子刻蚀机、金属等离子刻蚀机、侧墙等离子刻蚀机、高密度等离子薄膜沉积设备、二氧化硅等离子薄膜沉积设备以及铝铜金属溅射设备(PVD)等。
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