中微公司 视觉中国 资料图

2月27日，中微半导体设备（上海）股份有限公司（下称“中微公司”，688012）发布2022年度业绩快报。该公司营业总收入为47.40亿元，和上年同期相比（同比）增加52.50%；归属于母公司所有者的净利润为11.70亿元，同比增加15.66%；归属于母公司所有者的扣除非经常性损益的净利润为9.19亿元，同比增加183.44%。

中微公司称，公司从2012年到2022年十年的平均年营业收入一直保持了高于35%的增长率。此次营业收入较上年同期增长52.50%，再创历史新高。该公司在2022年新签订单金额约63.2亿元，较2021年增加约21.9亿元，同比增加约53.0%，订单销售比达到1.33。

中微公司主打产品为等离子体刻蚀设备，该设备是除光刻机以外最关键的微观加工设备，也是制程步骤最多、工艺过程开发难度最高的设备。公告中提到，半导体微观加工设备作为数码产业的基石，是发展集成电路和数码产业的关键，已成为人们最关注的硬科技产业之一。

公告称，由于光刻机的波长限制和2维芯片到3维芯片的发展，等离子体刻蚀设备越来越成为卡脖子的设备，也成为十大类关键设备市场最大的一类，占半导体前道设备总市场的约25%。公司还布局薄膜设备（主要是化学薄膜和外延设备），这也是除光刻机和刻蚀机外第三大设备市场。此外，中微公司还通过投资布局了第四大设备市场，即光学检测设备。

公司另一个主打产品MOCVD(金属有机化合物化学气相沉积)设备是三五族化合物半导体制造的最关键的核心设备。中微公司称，这种高端外延设备从照明，向大面积显示屏、功率器件、微显示等新兴领域迅速扩展，市场领域扩展迅猛。

据公告数据，截至2022年底，中微公司累计已有3311台等离子体刻蚀和化学薄膜的反应台，在国内、亚洲和欧洲的106条生产线，全面实现了量产和大量重复性销售。

中微公司在公告中表示，今后公司将继续瞄准世界科技前沿，坚持三维发展战略，持续锻造并提升经营管理能力，降低国际科技和贸易摩擦、半导体行业周期等因素影响，实现高速、稳定、健康和安全的发展。

中微公司是一家以中国为基地、面向全球的高端半导体微观加工设备公司，是我国集成电路设备行业的领先企业。该公司创始人尹志尧博士在半导体芯片和设备产业目前已有近40年行业经验，是国际等离子体刻蚀技术发展和产业化的重要推动者。其他联合创始人、核心技术人员和重要的技术、工程人员，包括杜志游、倪图强、麦仕义、杨伟、李天笑等160多位各专业领域的专家，其中很多是在国际半导体设备产业耕耘数十年，为行业发展做出杰出贡献的资深技术和管理专家。

中微公司目前聚焦用于集成电路、LED芯片等微观器件领域的等离子体刻蚀设备、深硅刻蚀设备和MOCVD设备等关键设备的研发、生产和销售。2019年7月22日，中微公司成为科创板首批上市企业。