日前,有外媒报道称,荷兰贸易部部长最近在致荷兰议会的一封信中宣布,基于国家安全考虑,荷兰政府将在夏天之前对其芯片出口实施新的限制。这项措施带来的一个显著改变就是,ASML光刻机的出口限制从EUV光刻机进一步下探了DUV光刻机,以及先进的沉积设备。ASML在当地时间3月8日的声明中提到,将需要申请出口许可证才能发运最先进的浸润式DUV系统,预计这些管制措施不会对该公司已发布的2023年财务展望以及于去年11月投资者日宣布的长期展望产生重大性影响。堵死国内先进制程之路从ASML的声明中可以看出,并非是所有的DUV光刻机设备都将被禁运,主要是最先进的DUV光刻机设备。结合ASML官网的设备情况来看,限制范围大致是TWINSCAN NXT:2000i和TWINSCAN NXT:2050i以及后续推出的更高端的DUV设备。那么,现阶段能够购买到的设备是什么?答案是TWINSCAN NXT:1980Di。介绍信息显示,这款光刻机采用193nm光源,广泛用于40nm或者38nm左右的成熟制程。业内人士表示,不能说TWINSCAN NXT:1980Di不能用于28nm、14nm,或者更先进的7nm。但是这样做的代价是高昂的,光刻步骤更加复杂,良率会比较低,量产芯片的成本完全不能与基于更先进的DUV光刻机或者EUV光刻机搭建的产线相比。先进DUV光刻机在先进制程方面的价值是巨大的。此前,台积电林本坚表示,该公司已经利用DUV光刻机量产了7nm,未来还将继续通过DUV量产5nm。而且,此前的文章中我们也介绍过英特尔当年量产10nm,借助的就是双机台和DUV光刻机。而我们也看到,在美光最新的DRAM技术中,依然也是在继续采用DUV光刻机。2022年11月2日,美光宣布其采用全球最先进技术节点的1β DRAM产品已开始向部分智能手机制造商和芯片平台合作伙伴送样以进行验证,并做好了量产准备。在这项创新的DRAM量产技术中,美光实现了领先行业的低延迟、低功耗和高性能。而在实现的过程中,美光通过多重曝光光刻技术加上DUV光刻机便实现了1β DRAM制程,成功绕开了EUV光刻机。因此,从计算芯片和DRAM量产来看,先进DUV光刻机的价值是巨大的。荷兰之所以在此时将政策进一步收紧,离不开美国政府持续的游说。在双方此前的多轮沟通中,荷兰实际上都在坚持自己的原则。荷兰外贸与发展合作大臣施赖纳马赫尔在2022年11月22日曾表示,荷兰不会照搬美国对华的芯片管制政策,“重要的是我们要捍卫自己的利益——我们的国家安全,以及我们的经济利益。”根据此前的财报数据,中国大陆是市场是ASML第三大的市场,营业收入达27亿欧元,约占其2021年全球营业额的14.7%。为了让荷兰对大陆禁售高端光刻机,美国已经游说了多年。目前来看,荷兰还是选择了顺从。分析师认为,在两国的谈判中,定然涉及到了美国当前正在大力推进的芯片本土制造。此前有报道称,美国芯片法案的目标是500亿美元的补贴,带动2000亿美元的产业投资,吸引了台积电、三星、英特尔、格芯和美光等大厂纷纷投资,将会对光刻机有比较大的需求。因此,ASML此举无疑是一种市场换市场的行为。
ASML部分DUV光刻机将禁运,国内半导体工艺何去何从
作者:科学研究院Science 来源: 头条号 60403/14
日前,有外媒报道称,荷兰贸易部部长最近在致荷兰议会的一封信中宣布,基于国家安全考虑,荷兰政府将在夏天之前对其芯片出口实施新的限制。这项措施带来的一个显著改变就是,ASML光刻机的出口限制从EUV光刻机进一步下探了DUV光刻机,以及先进的沉积
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