南大光电：ArF光刻胶有少量供货 尚未规模量产

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证券时报e公司讯，南大光电（300346）3月14日在互动平台表示，ArF光刻胶有少量供货，尚未规模量产。光刻胶扩产计划需根据产品订单情况确定。ArF光刻胶是先进集成电路芯片制造的关键材料，在193nm光源下有较高的透明性和抗刻蚀性等，可以

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