
高端的光刻机,比如EUV,能够生产7nm、5nm的制程芯片,低端的光刻机是没法生产的。但是,我国很多行业都需要用到高端的芯片,所以国内的光刻机一直有国产替代的需求。但是,高端光刻机的研发,是没那么快的。除了研发高端的光刻机之外,还有一个相对更容易的路径,也能够提升芯片制程,那就是——多重曝光。
之前就有很多关于多重曝光的讨论,不过A股市场上,一直没炒作起来。但是,最近华为的消息,非常振奋人心。华为近期发布了Mate 60 Pro,经过多方的确认,华为Mate 60 Pro,用的是麒麟9000s芯片,中芯国际代工的N+2技术,采用ASML浸润式DUV 1980Di (光刻机),多重曝光,生成的7nm工艺。换句话说,之前多重曝光一直是理论上探讨,但是,现在华为的动作表明,这项技术我们已经实现了。那么对于国内芯片产业来说,芯片制程突破到了7nm,实现了国产替代,情绪上振奋人心,也利好芯片产业链。

再说回多重曝光技术,目前主流的多重曝光技术分为LELE、LFLE或SADP。用的是荷兰ASML浸润式DUV 1980Di 光刻机,LELE、LFLE技术是将一层电路拆分成几层进行光刻,SADP则是通过控制沉积和刻蚀过程中的厚度和形貌,实现更高的精度。这个方法,能够实现7nm的芯片制程。但是同时也会产生一定的影响。
第一个就是会增加光刻胶的用量。如下图,通过四次曝光方式,完成一次图形转移,曝光次数明显增多,光刻胶使用量就大幅增加。因此,光刻胶相关品种值得关注,包括容大感光、南大光电等。

下图是我国光刻胶行业国产化以及进口替代情况,当下炒作的主要是半导体光刻胶这个细分。

另外,多重曝光技术,通常需要反复进行涂胶—光刻—显影—刻蚀等工艺流程,因此光刻多重曝光技术的发展,大大增加了浸没式DUV光刻机、涂胶显影机、刻蚀机、薄膜沉积等设备的潜在需求。A股市场上,半导体设备相关品种同样值得关注。比如显影液的格林达、盛剑环境;刻蚀机的中微公司、北方华创;薄膜沉积设备的微导纳米等。
另外,无论是哪种技术路径,多重曝光都会导致良率显著降低,因此,对于检测设备的需求同样会大幅提升。检测设备相关品种:广立微、长川科技等。
注意:再好的逻辑,也得结合大环境、涨跌趋势等因素来选择介入跟退出的时机。以上内容仅是基于行业以及公司基本面的静态分析,非动态买卖指导。以上观点仅供参考,据此建议风险自担,股市有风险,入市需谨慎。最后,喜欢我文章的朋友,记得加好关注,不迷路哦!